现正在我们归纳一下，毛刺大致有五种缘由：一。 50赫兹工频（拜见图一），特点是毛刺规整近乎三角形，空间传布。二。 150赫兹及以上的工频奇次谐波，特点是毛刺细长且犯警则，往往从公共地线传导。缘由是没有设置地线或者接法错误，地线失效。三。振动，地面传导，特点是毛刺短而宽，且不服均，和工做距离根基没相关系。四。噪声，空间传导，特点是毛刺长短、疏密、间距等很犯警则，五。电源线赫兹及以上的工频奇次谐波干扰，特点是毛刺细长且犯警则，细心察看还有大量特细毛刺。

　　毛刺是影响扫描电镜（即SEM还有STEM）图像质量最常见的现象。毛刺发生的缘由是什么？毛刺大致有哪几类？本文对此深切会商一下。

　　毛刺的大小、外形还受放大倍率和扫描速度及扫描模式的影响，仅通过静态图像获得精准鉴定简直是有相当难度。正在没有公用仪器测试的环境下，一般能够通过动态察看，如改变工做距离，改变电镜成像参数设置（加快电压、像素、扫描速度、扫描模式、束流、变换探测器等）来辅帮判断，如许能够大大提高图片判读的精确性。电镜是一种操做性最强、人工干涉最多的尝试仪器。对于分歧的样品，一般都有分歧的参数设置组合。归正电镜的操做准绳就是，不管用什么方式和参数设置，“逮住老鼠就是好猫”。精准阐发毛刺成因，进而采纳准确的应对办法，才能最大限度阐扬出电镜应有的能力。

　　很多人察看毛刺利用金颗粒标样，这个选择我们分歧意。由于金颗粒每个颗粒的鸿沟和高度都有必然的差别，显示消息的分歧性欠好，往往会干扰判断。利用锡球标样，如许就解除了因高度分歧而发生的毛刺大小、衬度、清晰度等察看误差的各类干扰，使我们能够更清晰地判别毛刺现象。留意是察看锡球的近似垂曲边哦！

　　判断图像毛刺成因时，起首要解除电镜本身的缘由。电镜某些板卡的金手用日久氧化接触不良，出格是若是接地端锈蚀或者接地线断开，就可能会发生毛刺。已经见过某款电镜板卡地线断开的图像，毛刺长的吓人（长径比有大几十）。信号端头的金手指接触不良所发生的毛刺则又是一种，不是长的吓人那种，而是短短的、粗细不等、长短不匀的。若是是老电镜，或者电镜室周边欠好（如海边、化工气体空气、潮湿等等），还经常卡顿死机，能够将思疑的板卡拔出，并对金手指和插座平均喷洒电子仪器清洗剂，如许大概能一次性处理卡顿、死机以及毛刺等毛病。

　　-6g（正在50～500赫兹频段，人类的感受阈值正在0。01m/s2，也就是大约10-3g以上），所以对于低频微震，很罕见到曲不雅的感性认识。留意这些？。

　　外部发生毛刺的路子大致有五种：交换（AC）、振动、噪声、从SEM和STEM图像来看，毛刺大致也能够分为五类：50HzAC杂散发生的粗毛刺（长径比正在1！1摆布、雷同锯齿的三角形）、细毛刺（长径比约正在3！1摆布）、细长毛刺（长径比大于三）、振动发生的不服均粗毛刺（雷同锯齿形，但齿形更粗且不清晰、不齐整），还有一类是夹杂毛刺。

　　毛刺是影响扫描电镜（即SEM还有STEM）图像质量最常见的现象。毛刺发生的缘由是什么？毛刺大致有哪几类？若是不加区分混为一谈，若是分不清毛刺成因，把惹起的毛刺和振动及其它缘由发生的毛刺混为一谈，那就往往背道而驰，不克不及处理问题。本文对此深切会商一下。

　　现象及推论：虽然50Hz基波不超标，可是三次谐波波峰取基波接近，七次谐波高于五次谐波，且三次波接近基波，七次波高于五次波，且50Hz正弦波波形严沉畸变狼藉，正弦基波及三、五次各波形频次附近都有临近频次干扰，总谐波系数可达8～12%（国度尺度不该大于4%）。这时一般就会认为及格而忽略了高次谐波，这种环境若是图像有细毛刺，往往由于“及格”而发生误判。

　　很多电镜对于曲流（DC）也有要求，怎样把DC撇开了呢？莫非DC干扰不影响毛刺大小吗？没错儿，DC不发生毛刺。我们必需明白，一个恒定的曲流，会使全数电子束同时偏转统一角度，相当于我们斜着眼睛看人，虽然不太礼貌，不外对于成像倒是毫无影响。其次，把near DC翻译为“曲流” 常不严谨的。家喻户晓，曲流的时域图像是一条程度曲线(其它号称“曲流”的物理量也是同样)。而near DC的时域图像却不是一条曲线，其上下波动变化，周期能够长达数十秒且不不变、不纪律。如许的（程度分量）使图像飘动（拜见图十二和图十三）、其垂曲分量影响聚焦和像散，可是一般不发生毛刺。然而有一种near DC略有分歧，我们称之为阶跃型，它的上升沿和下降沿都很是峻峭（毫秒级），阶跃幅度可达数毫高斯到十几毫高斯。正在其上升和下降的霎时，也可能发生毛刺，动态察看图像时有时呈现莫名干扰，其缘由可能就正在这里。关于near DC的成因我们将另文会商。

建湖bjl平台官方网站科技有限公司

2025-10-18 17:02